X射線光電子能譜儀

X射線光電子能譜儀 (XPS/ESCA)

XPS 1 XPS 2
英文名稱 X-ray Photoelectron Spectrometer, XPS/ESCA
功能說明

l  表面分析(Surface survey):樣品表面之成份分析。

l  表面化學組態分析(Narrow scan):樣品表面之元素化學組態鍵結分析。

l  縱深分析(Depth Profile):樣品表面以 Ar 離子濺蝕,分析不同深度的元素成分及比例之縱深分布。

l  圖譜分析(Mapping):檢測樣品表面分析區域的元素訊號,得到分析區域表面之元素分布影像圖。

l  線掃描(Line scan):檢測樣品表面直線距離的元素訊號,得到直線距離表面之元素分布圖。

l  角度解析分析(Angle-resolved Analysis):檢測薄膜樣品在不同角度之表面成份鍵結分析。(分析角度區間:0°~60°,角度間隔:10°)

廠牌型號

Thermo Fisher Scientific

K-Alpha X-ray photoelectron spectrometer

儀器規格

1. X光光源(X-ray   Source)Al K-α

2. X-ray Spot Size30μm~400μm

3.真空系統(Analysis   chamber ultimate vacuum) 5 x 10-9 mbar

4.電荷補償系統(Charge   Neutralization) Flood Gun

5.離子噴濺系統(Ion Sputtering)Ar+ Ion Gun (0.2keV~3keV)

建構年份 2001
收費標準 詳如下所示
備註  
關鍵字 X-rayXPSESCA
放置位置 燃料電池中心
管理者
燃料電池中心

趙珍翌小姐

電話:03-4638800分機:3088
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6966集团网站燃料電池中心使用收費標準

儀器中()文名稱 X射線光電子能譜儀 (X-ray Photoelectron Spectrometer, XPS/ESCA)
學術單位

300(基本費)+550/小時 (未稅)需先與管理人員確認可預約時段預計三週內交件。

學術單位-急件 1,000(基本費)+1,500/小時 (未稅)一週內交件。
財團法人與廠商 1,000(基本費)+3,000/小時 (未稅)一週內交件。
預約平台 XPA/ESCA預約平台 請點選即可連結
管理人員

燃料電池中心

趙珍翌小姐

電話:03-4638800分機:3088
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備註  
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